此系列閥門(mén)分為電動(dòng)驅動(dòng)方式,結構設計合理,外形美觀(guān),并具有動(dòng)作平穩、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長(cháng)等優(yōu)點(diǎn),能廣泛應用于超高真空設備中。
特點(diǎn)
軸封為波紋管密封,其它密封件為氟橡膠,無(wú)潤滑劑設計;
閥體采用不銹鋼內部焊接,漏率??;
閥體采用加強筋結構,體積小、重量輕,外形美觀(guān);
采用雙導軌軸承滾輪機構,運動(dòng)平穩;閥板內整體式結構,支撐力均勻。
主要性能指標:
適用范圍:1×10-7Pa~1.2×105Pa
打開(kāi)時(shí)插板上的壓差:≤3×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率:1.3×10-7Pa·L·s
建議首次維修前循環(huán)次數:10,000次
閥體烘烤溫度:打開(kāi)時(shí)≤200℃;關(guān)閉時(shí)≤150℃
安裝位置:任意
電動(dòng)驅動(dòng):DN 63~250為交流220V 50Hz,25W或交流380V 50Hz,25W
DN 320~400為交流220V 50Hz,40W或交流380V 50 Hz,40W
(除了上述規格外,特殊規格可定做)
閥門(mén)開(kāi)啟或關(guān)閉時(shí)間:DN63~250 ≤50s;
DN 320~400 ≤70s
閥門(mén)位置指示:帶有啟閉位置指示開(kāi)關(guān)(微動(dòng)開(kāi)關(guān))