濺射離子泵(SP)可獲得清潔無(wú)油超高真空，它具有許多獨特的優(yōu)點(diǎn)，

已得到廣泛的應用。

特點(diǎn)：

沒(méi)有工作液，不污染系統；

無(wú)震動(dòng)、無(wú)噪聲；

工作壓強范圍寬(1x10負4-1x10負11托)；

壽命長(cháng)，在1x10負7托工作壽命可達30年；

不用真空計可知真空度；

不用檢漏儀可對系統進(jìn)行檢漏。

應用：

加速器    表面物理

儲存環(huán)    材料研究

電子顯微鏡  宇宙模擬

質(zhì)譜儀    大功率激光研究

真空電子器件

三級泵與二級泵的區別：

三極泵對惰性氣體的抽速大得多。以下情況建議使用三極濺射離子泵：

1、不斷有惰性氣體進(jìn)入真空系統；

2、在大型真空系統中離子泵與升華泵或吸氣劑泵結合使用。