nXDS20i 是下一代無(wú)油的干式渦旋泵，可在應用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了傳統 XDS 泵的性能，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。 氣鎮允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了新的端部密封，延長(cháng)了端部密封更換的時(shí)間間隔。 具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 可進(jìn)行現場(chǎng)維修。

用途

· 一般清潔泵送應用

· 電子掃描顯微鏡 - SEM

· 射束線(xiàn)和高能物理

· 前級渦輪泵

· 速離心機

· 覆層

· 低溫學(xué)

· 脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹(shù)脂

· 蒸餾/萃取/過(guò)濾

· 冷凍干燥

· 熔爐

· 凝膠體干燥

· 實(shí)驗室工作臺上真空

· 激光、氣體回收和再循環(huán)

· 氦檢漏儀

· 負載鎖和傳輸腔

· 稀有氣體再循環(huán)

· 稀有氣體回收

· 冷凍制造

· 旋轉離心蒸發(fā)器

· SEM/FIB（離子束維修）

· 溶劑回收

· 表面科學(xué)儀器

特點(diǎn)優(yōu)勢

· 真空外殼中不需要使用潤滑劑，密封可徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染

· 無(wú)大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時(shí)間更長(cháng)

· 簡(jiǎn)單的單側滾軸布置與新的電機和軸承設計相結合，只需低程度的工具，就能實(shí)現輕松的現場(chǎng)服務(wù)，因此可降低運行成本，盡可能延長(cháng)正常運行時(shí)間

· 改進(jìn)了電機和傳動(dòng)效率，可降低功耗和運行成本

· 接口提供了傳統、模擬和數字控制方法，可通過(guò) USB、RS232 或 RS485 實(shí)現遠程控制/監視

數據