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INFICON公司生產(chǎn)的HPG400型高壓強熱電離皮拉尼真空計將高壓強熱電離與皮拉尼規管綜合在一個(gè)小型、輕便與經(jīng)濟的規管中,測量壓強從2x10負6至下1000毫巴(1.5*10負6至750乇)。HPG400提供高度的重復性和再現性壓強測量,用于濺射過(guò)程的壓強控制。