INFICON B-A型皮拉尼復合真空計BPG400,將兩種真空計集成在一個(gè)小型的單元內,測量范圍從5x10負10毫巴至大氣壓(3.8x10負lO乇至大氣壓),復合的技術(shù)降低了安裝,設置和集成的復雜性,選擇在一個(gè)經(jīng)濟型規管內的BPG400用于普及和可再現的過(guò)程中的基本壓強測量。
優(yōu)點(diǎn)
--極寬的測量范圍從5x10負10毫巴至大氣壓(3.8x10負10乇至大氣壓)
--極好的重復性,過(guò)程壓強范圍10負8——10負2毫巴均為5%
--皮拉尼連鎖保護B—A型系統,防止燈絲過(guò)早燒毀和高壓強運行產(chǎn)生的污染
--敷涂銥的氧化釔長(cháng)壽命燈絲
--可選圖形顯示和Feldbus接口
--自動(dòng)高真空皮拉尼調整,減少操作人員的干預
用途
--半導體工藝過(guò)程和傳輸室中的壓強測量
--工業(yè)鍍膜
--從低至超高真空范圍的一般真空測量和控制